真空泵专用之高真空氟醚油是全氟聚醚(PFPE)重要的应用领域之一。PFPE分子结构中存在着与C-C主键键合的F和O原子，这两种原子具有很强的电负性，因此具有很好的化学稳定性、热稳定性及优异的物理性能。与氯氟烃类润滑剂相比，全氟聚醚润滑剂具有更广泛的使用范围，同时不存在氢氟烃类在高温下易蒸发、低温时变粘变厚的缺点，又由于其分子中不含氢，因而在使用中不会因为润滑剂受压而对设备产生腐蚀。

集成电路等高子蚀刻是在真空条件下进行的，必须使用机械真空泵。由于系统中存在腐蚀性气体，若用矿物真空泵油，则会很快变质。而全氟聚醚具有特殊的化学惰性，而且蒸发性能优良，已经广泛用作集

成电路等离子蚀刻的真空泵油。

性能特点

1、全屏蔽结构，高温稳定性为所有PFPE产品中绝佳(250℃以上)

2、无闪点、燃点、不燃烧、低蒸汽压，低挥发性

3、与各类金属、塑料、橡胶、弹性体等相容性良好

4、极佳的化学惰性，优异的耐水及溶剂性能

5、良好的辐照稳定性、高介电性能

6、低表面张力，高粘度指数和良好的润滑性

7、使用安全、无毒、无腐蚀，无臭氧破坏系数，符合欧盟标准ROHS、NSF要求

重要数据

推荐应用

适用于半导体集成电路制造工艺的辅助真空泵常规润滑，由于全氟聚醚油具有优异的化学惰性、耐腐蚀及抗氧化性，可以避免精密电子零件的腐蚀

复杂工况及处置

我公司拥有超过15年终端应用经验的团队，与湖南有色郴州氟化学有限公司建立合作关系，并与中山大学化工学院建立联合工程中心，中心拥有各类先进精密检验检测仪器60余台，覆盖润全氟聚醚滑油脂微观、表观的测试需求，可结合材料、添加剂、实际工况、合成工艺等方面快速量身制定润滑解決方案

储存及使用方法

1、储存于阴凉干燥处，严禁和其他油脂混合

2、根据真空泵预设参数定量添加

申明与注意事项

由于各类应用工况的复杂性、应用场景的不确定性、机械性能的差异性、接触材料的多样性等不同因素，如有需求请先测试样品，确认效果后再批量使用。我司在不断研发与改进产品，未尽事宜请来电深入沟通，以便制定合理的润滑解決方案。